吴正云
,
XIN Xiao-bin
,
YAN Feng
,
ZHAO Jian-hui
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.019
MSM结构探测器具有结构与工艺简单、制备成本低、量子效率高等特点而在探测器应用中得到重视.本文制备了采用镍作为肖特基接触形成的MSM 4H-SiC紫外光电探测器,并测量和分析了在不同的偏压下其光电特性.结果表明,该探测器的暗电流非常小,在偏压为15 V的时候,漏电流密度约为70 nA/cm2,光电流比暗电流高约2个数量级,其光谱响应表明,其最高光谱响应与380 nm的比值约为1000倍,说明该探测器具有良好的紫外可见比.
关键词:
光电子学
,
4H-SiC
,
MSM结构
,
紫外探测器
